[发明专利]重力补偿装置有效
| 申请号： | 201310670339.8 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698766B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 廖飞红;戴乐薇;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，包括底座、活塞、护套、摆机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间，与所述摆机构串联；所述摆机构连接在负载板与活塞之间。本发明通过在负载板与活塞之间增设摆机构，从而将负载板上的负载的重力通过该摆机构传递到活塞上；根据弹簧串联原理，两个串联弹簧的刚度小于其中任意一个弹簧的刚度，因此，将摆机构与气囊结构互联，可以同时实现本发明的重力补偿装置的垂向和水平向的低刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 重力 补偿 装置 | ||
【主权项】：
一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，其特征在于，包括：底座、活塞、护套、摆动机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间，与所述摆动机构串联；所述摆动机构包括刚性杆、柔性杆和连接板，所述负载板通过刚性杆与所述连接板连接，所述连接板通过柔性杆与活塞连接，所述摆动机构连接在负载板与活塞之间。
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