[发明专利]一种波导型碘化铯闪烁屏及其制备方法在审
申请号: | 201310672233.1 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN103700423A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 范波 | 申请(专利权)人: | 江苏龙信电子科技有限公司 |
主分类号: | G21K4/00 | 分类号: | G21K4/00;G01T1/20 |
代理公司: | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人: | 李涛 |
地址: | 215332 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种波导型碘化铯闪烁屏及其制备方法,该闪烁屏包括衬底和闪烁体,所述的闪烁体采用晶体填充工艺成型于衬底表面,所述的闪烁屏的制备方法包括如下步骤:a)衬底的表面刻蚀,b)配制闪烁体原料,c)制备闪烁体,d)闪烁屏后处理。本发明揭示了一种波导型碘化铯闪烁屏及其制备方法,该闪烁屏结构设计合理,制备过程科学、成本适中,在其制备过程中使用电化学腐蚀法处理n型单晶硅片,并在硅片表面建立起高密度微通道阵列结构,有效的解决了碘化铯闪烁屏成像分辨率差、X射线剂量偏大等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 波导 碘化 闪烁 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种波导型碘化铯闪烁屏,其特征在于,该闪烁屏包括衬底和闪烁体,所述的闪烁体采用晶体填充工艺成型于衬底表面。
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