[发明专利]一种MEMS开关仿真分析方法在审
| 申请号： | 201310675674.7 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103678804A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 苗晓丹;戴旭涵;黄奕 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS开关仿真分析方法，其包括如下步骤：a)建立MEMS开关的有限元模型；b)分析MEMS开关在通电情况下的输出性能及内部磁场强度分布情况；c)根据分析结果，对MEMS开关的结构进行优化。本发明首次提供了一种MEMS开关仿真分析方法，通过本发明方法建立MEMS开关的有限元模型，从而可掌握通入电压以及结构设计对MEMS开关输出性能的影响，进而为MEMS开关结构优化与设计提供依据。本发明应用性强，可用于MEMS开关双稳态工作机理的研究中，对MEMS开关的性能监测具有重要价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 仿真 分析 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS开关仿真分析方法，其特征在于，包括如下步骤：a)建立MEMS开关的有限元模型；b)分析MEMS开关在通电情况下的输出性能及内部磁场强度分布情况；c)根据分析结果，对MEMS开关的结构进行优化。
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