[发明专利]一种新型微加热器及其制备方法有效
| 申请号： | 201310676245.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103708410A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李卓;毛云峰;徐海霞;崔鹏义;吴志根 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及到一种新型微加热器，其结构包括：承载玻璃片、镀金导电涂层、加热单元（镀铬涂层）、电极柱和铝制热沉平台。本发明采用软光刻微加工技术对镀有金-铬的玻璃片进行加工，实现一个加热片上具备可并行工作的多个加热单元；采用直流电源获得焦耳热，应用铝制热沉平台进行有效散热，以实现快速的响应和稳定的温度控制。本发明体积微小，易于与光学系统相结合以实现实时观测，且耗能低至毫瓦级。本发明不仅能够实现微米尺度面积上温度的局部控制，而且易于与微流动系统高度集成，实现在生物和化学领域高通量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 加热器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种新型微加热器，由承载玻璃片(1)、镀金导电涂层(2)、加热单元(4)、电极柱(5)和铝制热沉平台(6)组成，其特征在于：承载玻璃片(1)位于铝制热沉平台(6)上方，承载玻璃片(1)表面镀有一层铬层，所述铬涂层表面镀有一层金层，通过对金层进行化学蚀刻，在承载玻璃片(1)表面得到所需几何形状的镀金导电涂层(2)；通过对铬层进行化学蚀刻，在承载玻璃片(1)表面得到所需几何形状且均匀分布的加热单元(4)，相邻的加热单元(4)通过并联连接；承载玻璃片(1)未镀金与铬面与铝制热沉平台(6)通过高效导热剂(7)进行粘接；镀金导电涂层(2)上设置电极柱(5)。
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