[发明专利]用于计算机硬盘基片无磨粒抛光液组合物

摘要

本发明涉及一种用于计算机硬盘基片抛光的无磨粒抛光液组合物。本发明的抛光液含有金属离子、氧化剂、分散剂、表面活性剂和水，其特点在于该抛光液不含磨粒，并且同时含有金属离子和氧化剂。本发明的无磨粒抛光液组成及其重量百分比如下：金属离子添加剂0.2~1.2%；氧化剂1~6%；分散剂1.0~4.0%；表面活性剂1.0~4.0%；去离子水余量。采用本发明提供的无磨粒抛光液对硬盘基片进行抛光，可提高基片的去除速率，有效降低基片表面的粗糙度，减轻表面抛光微缺陷状况。

主权项

一种用于计算机硬盘基片抛光的无磨粒抛光液组合物，其特征在于该组合物的组成及其重量百分比含量如下：金属离子盐                                                        0.2~1.2%氧化剂双氧水                              1.0~6.0%分散剂六偏磷酸钠                          1.0~4.0%表面活性剂十六烷基聚氧乙烯醚羧酸盐        1.0~4.0%去离子水                                    余量所述的金属离子盐为Zn 离子或Mg离子的可溶性盐。