[发明专利]一种基于柔性衬底的传感器模块有效
申请号: | 201310680558.4 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN103645215B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 梁圣法;李冬梅;李小静;张浩;罗庆;周磊;刘明;谢常青;杨洪璋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;G01N27/22;G01N27/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块,该传感器模块包括传感器部分及天线部分,二者均以柔性绝缘材料为衬底,并通过导线或夹具连接,其中,传感器部分用于感知外部敏感信号,天线部分用于无线信号的传输及接收,二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底,利用各种微电子微加工方法,将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起,形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 柔性 衬底 传感器 模块 | ||
【主权项】:
一种基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该传感器模块包括传感器部分及天线部分,二者均以柔性绝缘材料为衬底,并通过导线或夹具连接,其中,传感器部分用于感知外部敏感信号,天线部分用于无线信号的传输及接收,二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输,其中:该传感器部分是在柔性绝缘材料衬底之上制作的各种传感器,这些传感器的平面结构各异,至少为圆形、椭圆形、正方形、长方形或不规则图形,且均能够弯曲成各种形状,以适应各种不同的测试环境;该天线部分利用柔性绝缘材料作为衬底,在该衬底之上加工出条状或圆形图案;之后,在需要连接的位置开孔:当使用该天线部分的时候,将各个对应的孔折叠用夹具将对在一起的每一条边固定,使之连接在一起,形成三维立体结构;当不使用该天线部分的时候,将夹具取下,将天线部分平铺放置,或者卷成筒状搁置。
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