[发明专利]单晶炉的加热装置在审
申请号: | 201310684221.0 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN104711669A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 潘燕萍 | 申请(专利权)人: | 常州市天龙光电设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/10 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶炉的加热装置,包括石墨坩埚和锅托体,所述石墨坩埚表面上设有若干个凹槽,石墨坩埚底面上设有凸台,所述锅托体设置于石墨坩埚下面,锅托体由锅托台和支架构成,锅托台为一个直径逐渐增大的圆柱形腔体,锅托台与石墨坩埚相接触的表面上设有与凸台相适应的卡槽,支架设置于锅托台的下表面。本使用新型具有导热快,加热均匀,装置牢固,结构简单,使用寿命长等特点。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 加热 装置 | ||
【主权项】:
单晶炉的加热装置,包括石墨坩埚和锅托体,其特征在于:所述石墨坩埚表面上设有若干个凹槽,石墨坩埚底面上设有凸台,所述锅托体设置于石墨坩埚下面,锅托体由锅托台和支架构成,锅托台为一个直径逐渐增大的圆柱形腔体,锅托台与石墨坩埚相接触的表面上设有与凸台相适应的卡槽,支架设置于锅托台的下表面。
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