[发明专利]一种可寻址测试芯片及其测试方法在审
| 申请号： | 201310686448.9 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103811468A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 赵阳;欧阳旭;郑勇军;潘伟伟 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L27/02;H01L21/66;G01R31/28 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 王江成 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可寻址测试芯片及其测试方法，测试芯片包括可寻址电路、若干个测试框架和若干个测试结构组，测试结构组摆放在测试框架中间。可寻址电路包括周围地址译码电路和若干个开关电路，周围地址译码电路包括行地址译码电路、列地址译码电路和管脚选择译码电路；行地址译码电路、列地址译码电路和管脚选择译码电路的输入端都与PAD集合相连，输出端都连接到开关电路；开关电路还通过若干条信号线连接到PAD信号位；开关电路通过测试框架连接测试结构组。测试时，行地址信号和列地址信号选择测试框架，管脚选择信号选择引脚，测试信号对测试结构进行检测。本发明借助于管脚选择电路，可以测试具有多个引脚的测试结构组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寻址 测试 芯片 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种可寻址测试芯片的测试方法，其特征在于，可寻址电路与测试框架连接，测试框架与测试结构组连接，测试信号通过可寻址电路选择目标测试框架和所需测量的测试结构进行测试。
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