[发明专利]一种真空紫外灯的在线自清洁方法

摘要

本发明提供了一种真空紫外灯的在线自清洁方法，属于单光子电离飞行时间质谱仪的性能优化与维护技术领域，该方法针对真空紫外灯长期使用后光强发生衰减的问题设计得到，主要过程是当真空紫外灯光窗被有机物污染或氧化等导致光强衰减时，在线中等真空下向光窗表面通入一定浓度的氢氧混合气，并且不影响试验的正常进行。由于氢气的强还原性，会在一定程度上使氧化的光窗表面得到复原。另外氢氧混合气还会产生氢氧自由基，与光窗表面粘附的碳氢化合物反应得到易挥发的有机物而从光窗脱附。基于以上过程实现对真空紫外灯的在线自清洁，无需拆卸装置，不影响试验的正常进行，对采集的谱图无干扰，具有操作方便、方法简单、性能稳定可靠、使用寿命长的特点。

主权项

一种真空紫外灯的在线自清洁方法，其特征在于在线清洁，由以下步骤组成：A.首先，打开样品气(1)和两通阀A，利用精密质量流量计A调节样品气流量，样品气(1)通过石英毛细管A进入电离区(4)；B.其次，打开补偿气(3)和两通阀B，利用精密质量流量计B调节样品气流量，补偿气(3)通过石英毛细管B进入电离区(4)，清洁气(2)通过石英毛细管B进入电离区；C.高压点亮真空紫外灯(VUV灯)(6)，在步骤B的条件下连续在线监测样品信号强度变化趋势；D.打开清洁气(2)和两通阀C，调节精密质量流量计C和B，使电离区(4)气压与步骤C中的气压一致，多余气通过出气口(5)流出；E.在步骤D条件下连续在线监测样品强度的变化趋势；F.在线监测后，关闭清洁气(2)和两通阀C，调节精密质量流量计B，使电离区(4)气压与步骤C中的气压一致；所用清洁气(2)为高纯氢气或氢气与惰性气体的混合气，补偿气(3)是高纯氧气或高纯氮气。