[发明专利]基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统

摘要

本发明公开了一种基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统。本发明的技术方案要点为：基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统，采用热电偶温度传感器对化学机械抛光过程中基片的温度进行监测，采用目前主流的ARMSTM32F103系列微处理器进行处理，并通过NRF905和GSM无线模块将温度数据传送至计算机以及手机进而实现对温度的显示和调控。本发明采用的GSM无线收发模块和微处理器均可持续、稳定24小时不间断长年可靠地运行，采用STM32F103系列微处理器，控制精度高，反应速度快，控制较灵活。

主权项

基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统，其特征在于包括发送端和接收端，所述的发送端包括抛光机、热电偶温度传感器、发送端锂离子电池、磨盘、发送端电路外壳、NRF905发射天线、发送端处理器复位键、发送端电源开关，所述的抛光机上部安装有磨盘，发送端锂离子电池安装在抛光机的内部，磨盘的上部安装有发送端电路外壳，磨盘的上部与发送端电路外壳的下部沿磨盘径向分别装有七组热电偶温度传感器，热电偶温度传感器裸露的热端与磨盘晶片下表面平行或等高，并在热电偶温度传感器的周围涂有绝缘胶，发送端电路外壳内经电路板装有发送端控制电路，发送端电路外壳的上部装有NRF905发射天线，发送端电路外壳的一侧并排安装有发送端电源开关和发送端处理器复位键；所述的接收端包括接收端电路外壳、接收端电源开关、接收端处理器复位键、液晶显示屏、EM310天线、NRF905接收天线、第一通讯指示灯、第二通讯指示灯、主功能按键、上调按键、下调按键、查询按键、串口、接收端锂离子电池和电源插头，其中EM310天线和NRF905接收天线并排装在接收端电路外壳的上部，接收端电路外壳的前部装有液晶显示屏、第一通讯指示灯、第二通讯指示灯、接收端处理器复位键、接收端电源开关、接收端锂离子电池、主功能按键、上调按键、下调按键、查询按键和串口，接收端电路外壳的左侧装有电源插头，接收端电路外壳内经电路板装有接收端控制电路。