[发明专利]一种用于减缓灯窗表面污染的装置

摘要

本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置，包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极，skimmer电极。其中，侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。在VUV灯照射下，进入电离区的样品分子被电离成正离子、负离子和电子。由于聚焦电极和推斥电极上施加有电压，在电场的作用正、负离子分别向skimmer电极和VUV灯窗运动。由于电极A和B上施加有不同的电压，进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧，无法轰击到灯窗表面，从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。

主权项

一种用于减缓灯窗表面污染的装置，其特征在于：包括从上到下依次排列的灯窗(1)、侧向偏转电极(2)、推斥电极(3)、聚焦电极(4)，skimmer电极(5)；所述灯窗(1)设置在侧向偏转电极(2)的正上方；所述侧向偏转电极(2)是中部设置有通孔的电极片，电极片沿通孔的中心线切分为电极A和电极B，电极A和电极B在同一平面内，二者间隔设置；于侧向偏转电极(2)下方设置有推斥电极(3)，推斥电极(3)是中部设有通孔的板状电极板；所述推斥电极(3)下方设置有聚焦电极(4)，聚焦电极(4)为单个金属板状电极或多个同轴、相同间隔设置的金属板状电极，聚焦电极(4)中部设有贯穿的通孔；所述聚焦电极(4)正下方设置skimmer电极(5)，skimmer电极(5)为中空的圆柱状结构，沿轴线上设置通孔；所述侧向偏转电极(2)、推斥电极(3)、聚焦电极(4)和skimmer电极(5)上的通孔同轴设置，灯窗(1)设置在侧向偏转电极(2)通孔轴线正上方；所述推斥电极(3)和聚焦电极(4)的中间区域为电离区(6)；电离区通过毛细管与装置外部相通，样品气体通过毛细管将导入到电离区(6)内；所述侧向偏转电极(2)的电极A和电极B上面施加有不同的电压，电极A和电极B之间形成压差；在电压差的作用下，进入侧向偏转电极(2)的离子发生偏转向电极A或电极B的运动；推斥电极(3)到skimmer电极(5)的电压依次减小，正离子朝向聚焦电极(4)运动，经聚焦透镜聚焦到小孔，到检测器进行检测。