[发明专利]一种高温抗氧化铌合金复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310701201.X | 申请日： | 2013-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103614698A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李伟洲;许安;刘伟;秦泽华;周敏;杨阳;陈泉志;范明林 | 申请（专利权）人： | 广西大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/58;B32B15/01 |
| 代理公司： | 广西南宁汇博专利代理有限公司 45114 | 代理人： | 朱萍球 |
| 地址： | 530004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温抗氧化铌合金复合涂层及其制备方法。该复合涂层采用Cr、Nb、Al三种高纯金属靶材，应用磁控溅射技术在基材上沉积形成Al/Nb-Cr复合涂层，具体为：直流反应磁控溅射Cr，在基材上预沉积厚约0.05-0.15μm的Cr作为过渡层；直流反应磁控溅射Nb和Cr，Nb和Cr元素含量为：Nb 35-45at%、Cr 55-65at%，在过渡层上沉积Nb-Cr涂层，涂层厚度为3-5μm；直流反应磁控溅射Al，在已沉积的Nb-Cr涂层上再沉积Al外层，沉积厚度为3-4μm。本发明制备的Al/Nb-Cr复合涂层，与基体结合好，涂层均匀致密，表现出良好的高温抗氧化性能，工艺简单且重复性好，可大面积制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 氧化 合金 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高温抗氧化铌合金复合涂层，其特征在于：采用Cr 、Nb、Al三种高纯金属靶材，应用磁控溅射技术在基材上沉积形成Al/Nb‑Cr复合涂层，具体为：直流反应磁控溅射Cr，在基材上预沉积厚约0.05‑0.15μm的Cr作为过渡层；直流反应磁控溅射Nb 和Cr，Nb和Cr元素含量为：Nb 35‑45at%、Cr 55‑65at%，在过渡层上沉积Nb‑Cr涂层，涂层厚度为3‑5μm；直流反应磁控溅射Al，在已沉积的Nb‑Cr涂层上再沉积Al外层，沉积厚度为3‑5μm。
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