[发明专利]用于切方机的金刚线切割工艺无效
申请号: | 201310703186.2 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN103722624A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 范威秋;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明用于切方机的金刚线切割工艺,包括:第一步,将待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定;第二步,开动切方机进行带砂切割;其中,砂浆的流量≥18O升/分钟,金刚线切割的线速为900米/分钟,循环时间为90秒,新线送线量为6米/分钟,进给速度为2.0毫米/分钟;第三步,从晶托分离并检验。本发明用于切方机的金刚线切割工艺的借助高速的线速,达到切割进给速度比用普通钢线+碳化硅粉切割两倍以上的效果,而且在提高速度的情况下,成品的尺寸精度达到检验标准(切方尺寸控制:156.35毫米~157.35毫米),成品的稳定性得到很好的保证。 | ||
搜索关键词: | 用于 切方机 金刚 切割 工艺 | ||
【主权项】:
用于切方机的金刚线切割工艺,其特征在于,包括:第一步,将待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定;第二步,开动切方机进行带砂切割;其中,砂浆的流量≥18O升/分钟,金刚线切割的线速为900米/分钟,循环时间为90秒,新线送线量为6米/分钟,进给速度为2.0毫米/分钟;第三步,从晶托分离并检验。
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