[发明专利]一种传感器件、传感器及湿度传感器件

摘要

本发明涉及一种传感器件，所述传感器件包括设置在半导体衬底上的至少一个传感器区域，所述传感器区域包括设置在所述半导体衬底上的多晶硅垂直电极，所述多晶硅垂直电极形成传感电容，每个垂直电极作为所述传感电容的一个极板，所述垂直电极的极板之间有敏感膜片，所述敏感膜片与环境具有第一接触面，透过所述第一接触面吸收环境中待检测物质后，改变所述传感电容的电容值，所述传感电容根据所述介电常数变化生成变化的电容信号；至少一个传导器件，从所述第二表面朝向所述第一表面贯穿所述半导体衬底，并且与所述敏感器件具有至少一个第二接触面，所述第二接触面将传感电容生成的所述电容信号传导给设置在所述第二表面的金属焊盘。本发明具有性能稳定的优点。

主权项

一种传感器件，其特征在于，所述传感器件包括设置在半导体衬底上的至少一个传感器区域；其中，所述传感器区域包括设置在所述半导体衬底上的多个多晶硅垂直电极，相邻的所述多晶硅垂直电极形成传感电容，每个垂直电极作为所述传感电容的一个极板，每个传感电容的两个极板之间设置有敏感膜片，所述敏感膜片与环境具有第一接触面，透过所述第一接触面吸收环境中待检测物质后，改变所述传感电容的电容值，所述传感电容根据所述介电常数变化生成变化的电容信号； 至少一个传导元件，贯穿所述半导体衬底，并且与所述垂直电极具有至少一个第二接触面，所述第二接触面将所述传感电容生成的所述电容信号传导给设置在半导体衬底底部的金属焊盘。