[发明专利]基板处理装置和基板支撑装置有效
| 申请号： | 201310705670.9 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104244692B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 田中俊幸 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/02 | 分类号： | H05K13/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆德骏,谢丽娜 |
| 地址： | 日本静冈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供基板处理装置和基板支撑装置，该基板处理装置具备支撑基板的基板支撑部和以能够拍摄基板支撑部的方式构成的拍摄部，基于拍摄部对基板支撑部的拍摄结果来调整基板相对于基板支撑部的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 支撑 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，具备：支撑基板的基板支撑部；及以能够拍摄所述基板支撑部的方式构成的拍摄部，所述基板处理装置构成为，基于所述拍摄部对所述基板支撑部的拍摄结果来调整所述基板相对于所述基板支撑部的位置以消除所述基板支撑部中的设计上的装配误差。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于雅马哈发动机株式会社，未经雅马哈发动机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310705670.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：办公椅一体化背框（6620‑17）
- 下一篇：网背（DH03）
