[发明专利]玻璃微粒子合成用燃烧器、沉积体的制造方法及沉积装置有效
申请号: | 201310706200.4 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN103880280B | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 浦田佑平 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种玻璃微粒子合成用燃烧器、玻璃微粒子沉积体的制造方法及玻璃微粒子沉积装置。该玻璃微粒子合成用燃烧器包括玻璃原料气体喷出流路,用于喷出玻璃原料;位于其外侧的环状的可燃性气体喷出流路,用于喷出可燃性气体;位于其进一步外侧的环状的助燃气体喷出流路,用于喷出助燃气体;以及小口径喷嘴,位于可燃性气体喷出流路内,用于喷出助燃气体;在对玻璃微粒子合成用燃烧器的中心轴进行垂直切断的截面图中,当由通过玻璃微粒子合成用燃烧器的中心的预设直线将玻璃微粒子合成用燃烧器分割成两个区域时,位于一方区域中的小口径喷嘴的总面积大于位于另一方区域中的小口径喷嘴的总面积。在烟灰沉积体的锥形部分也能够高效地沉积玻璃微粒子。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 微粒子 合成 燃烧 沉积 制造 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种玻璃微粒子合成用燃烧器,供应玻璃原料气体、可燃性气体及助燃气体,将在火焰中精制的玻璃微粒子喷射沉积于初始材料上,其中,该玻璃微粒子合成用燃烧器包括:玻璃原料气体喷出流路,用于喷出玻璃原料;环状的可燃性气体喷出流路,位于所述玻璃原料气体喷出流路的外侧,用于喷出可燃性气体;环状的助燃气体喷出流路,位于所述可燃性气体喷出流路的外侧,用于喷出助燃气体;以及小口径喷嘴,位于所述可燃性气体喷出流路内,用于喷出助燃气体;在对所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心轴进行垂直切断的截面图中,当由通过所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心的预设直线将所述玻璃微粒子合成用燃烧器分割成两个区域时,位于一方区域中的所述小口径喷嘴的总面积大于位于另一方区域中的所述小口径喷嘴的总面积;在对所述玻璃微粒子合成用燃烧器的中心轴垂直切断的截面图中,设置于可燃性气体区域内的所述多个小口径喷嘴的位置只有当旋转n×360°时,才与初始的小口径喷嘴的配置相同,不具有旋转对称性,其中,n为整数。
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