[发明专利]气液分离装置及研磨装置有效
| 申请号： | 201310711652.1 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103878694B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 牛丸诚也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B55/12 | 分类号： | B24B55/12;B24B37/34;B01D45/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种气液分离装置，具有：气液分离槽；气液导入管，其延伸到所述气液分离槽的内部，将气液二相流导入所述气液分离槽内；喷雾喷嘴，其将纯水喷雾到积存于所述气液分离槽的底部的液体；排放管，其与设在所述气液分离槽的底部上的液体排出口连通；以及与设在所述气液分离槽的侧部上的排气口连通的排气管，所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方。采用本发明，即使积存在气液分离槽内部的液体产生泡沫，也能高效地将该泡沫除去。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 装置 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种气液分离装置，将从用于研磨基板表面的研磨装置产生的气液二相流分离成气体和液体并排出，其特征在于，具有：上方开口的有底筒状的气液分离槽；筒状的气液导入管，该气液导入管从所述开口在所述气液分离槽的内部向下方延伸而到达该气液分离槽的内部，将包含发泡性液体的气液二相流导入所述气液分离槽内；喷雾喷嘴，该喷雾喷嘴将纯水向积存于所述气液分离槽的底部的液体进行喷雾；排放管，该排放管连通于设在所述气液分离槽的底部的液体排出口；排气管，该排气管连通于设在所述气液分离槽的侧部的排气口；以及排气箱，该排气箱的内部设有捕捉气体所含的雾沫的雾沫捕捉器，所述喷雾喷嘴配置于所述气液分离槽内，所述排气管连通于所述排气箱，所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方。
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