[发明专利]一种耐高温黄变及耐高温高湿OC负型光阻剂及其在触摸屏器件制造中的工艺制程方法有效
申请号: | 201310713672.2 | 申请日: | 2013-12-20 |
公开(公告)号: | CN103760751B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 李伟;廖江华;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 深圳市查科本显示材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/00;G06F3/044 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 李悦;齐文剑 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种耐高温黄变及耐高温高湿OC负型光阻剂及其在触摸屏器件制造中的工艺制程方法,负型光阻剂,至少由如下重量份的原料组成:甲基丙烯酸的共聚物树脂 5‑30份,含有烯双键的低聚物交联剂 5‑30份,光致自由基引发剂 0.2‑2份,助剂0.5‑3份,耐热黄变树脂5‑30份,溶剂70‑90份。本发明所述的负型光阻剂在制造电容式触摸屏的绝缘桥时,在200‑230℃镀膜温度下;100℃,85%高湿环境下;线电阻稳定在5.0E+15‑16欧姆范围,透光率在98%。在制造保护层整层涂布OC2时,耐热透光率可以达到98%以上。本发明还通过揭示一种黄光制程工艺来说明对负型光阻剂的使用方法及优异工艺参数。 | ||
搜索关键词: | 负型光阻剂 耐高温 黄变 触摸屏器件 透光率 耐热 制造 高湿 制程 电容式触摸屏 自由基引发剂 共聚物树脂 甲基丙烯酸 高湿环境 黄光制程 原料组成 保护层 低聚物 交联剂 绝缘桥 线电阻 重量份 溶剂 树脂 镀膜 双键 | ||
【主权项】:
1.一种耐高温黄变及耐高温高湿OC负型光阻剂,其特征在于,至少由如下重量份的原料组成:甲基丙烯酸的共聚物树脂 5-30份,含有烯双键的低聚物交联剂 5-30份,光致自由基引发剂 0.2-2份,助剂0.5-3份,耐热黄变树脂5-30份,溶剂70-90份;所述耐热黄变树脂是由通式(2)所示的化合物与通式(3)所示的化合物反应制备而成,通式(2)为式(8-1)~式(8-10)所示的化合物中的任一种; 、 、 8-1 8-2 、 、 8-3 8-4 、 8-5 、 、 8-6 8-7 、 、 8-8 8-9 ; 8-10通式(3)为 ,通式(3)中Z表示C、苯环或 。
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