[发明专利]一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201310717249.X | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103710705A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李春贤 | 申请（专利权）人： | 北京合德丰材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;C30B33/10;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100068 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用，该添加剂包括如下组分：季戊四醇，无水醋酸钠、聚乙二醇和去离子水。应用上述添加剂进行酸制绒的方法，包括以下步骤：1）将季戊四醇，无水醋酸钠和聚乙二醇溶解于去离子水中，制得添加剂；2）将氢氟酸和硝酸溶于去离子水中制得酸混合溶液，然后将添加剂加入到所述酸混合溶液中，得到酸性制绒液；3）将砂浆切割多晶硅片或金刚线切割多晶硅片浸入到酸性制绒液中进行制绒，即可。本发明可使制绒后金刚线切割多晶硅片的反射率比常规制绒工艺制绒后金刚线切割多晶硅片的反射率低6%左右，使制绒后砂浆切割多晶硅片的反射率比常规制绒工艺后砂浆切割多晶硅片的反射率低3～5%左右。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 酸性 制绒液 添加剂 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于，包括如下组分：季戊四醇，无水醋酸钠、聚乙二醇和去离子水；其中，所述季戊四醇的重量百分含量为0.5～2%，所述无水醋酸钠的重量百分比为0.5～2%，所述聚乙二醇的重量百分含量为0.5～2%，所述去离子水的重量百分含量为94～98.5%。
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