[发明专利]一种双摇摆喷淋装置有效
| 申请号： | 201310719740.6 | 申请日： | 2013-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN104735916B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 李建光;刘雪桥;陈龙英;朱西祥;李卫华;刘以新 | 申请（专利权）人： | 深圳市洁驰科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;B05B3/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻、显影设备的技术领域，公开了一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，该摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板传送方向的导轨，架设于导轨上且垂直于传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于喷淋架中且间隔的多个喷淋管，各喷淋管两端与导轨之间均设置有旋转块，该旋转块的一端与导轨之间转动连接，其另一端与喷淋管垂直且轴向定位连接。本双摇摆喷淋装置中，喷淋管活动穿插在喷淋架上，使喷淋管的安装和拆卸简单便捷；喷淋管和导轨之间设置有旋转块，使喷淋管在喷淋架往复式直线运动的作用下，实现了转动和直线运动的双动作喷淋，有效地消除了水池效应，提高了蚀刻的精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摇摆 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双摇摆喷淋装置，用于蚀刻机或者显影机，其特征在于，包括上下两组对称设置的摇摆喷淋单元，所述摇摆喷淋单元包括垂直于待蚀刻基板的传送方向的导轨，架设于所述导轨上且垂直于所述传送方向作往复式直线运动的喷淋架，以及活动设置于所述喷淋架中且相互间隔的多个喷淋管，所述喷淋管的两端与所述导轨之间均设置有旋转块，所述旋转块的一端与所述导轨之间转动连接，所述旋转块的另一端与所述喷淋管垂直且轴向定位连接，所述喷淋管上还设置有进液管，所述进液管与所述喷淋管连通，且所述进液管上开设有用于输入药液的进液口；所述进液管将其内的药液通过其两端注入喷淋管。
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