[发明专利]一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法在审
| 申请号： | 201310721649.8 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103834924A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 宋小利;张向东;张文勇;杨太礼;王毅;付勇 | 申请（专利权）人： | 利达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 秦舜生 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法，包括以下步骤：将材料在200℃～500℃，保温24～48小时空冷至室温；铸锭放入椭圆形模具中，沿X方向进行锻压，变形量达到20%～40%；将铸锭放入圆形模具中，沿Y方向进行锻压，变形量达到20%～40%；将铸锭从模具中取出，沿Z方向进行锻压，变形量达到70%；将锻压后的铸锭在200～400℃条件下进行退火处理；将锻压成板材在室温下进行8～20道次轧制，每道次扎下量不低于25%，X方向与Y方向交替轧制；在200～400℃条件下进行退火处理，既消除了内应力，并将材料晶粒细化至200μm以下。运用本方法制作的超高纯铝靶材，晶粒细小均匀，织构稳定，并且成材率高，易于操作，便于大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 高纯 铝合金 溅射 方法 | ||
【主权项】：
一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）均匀化：将超高纯铝铸锭或超高纯铝合金铸锭在200℃～500℃，保温24～48小时后，空冷至室温；（2）模锻：a.将均匀化处理后的铸锭放入椭圆形模具中，沿X方向进行锻压，变形量达到20%～40%；b.将铸锭放入圆形模具中，沿Y方向进行锻压，变形量达到20%～40%；（3）自由锻：将铸锭从模具中取出，沿Z方向进行锻压，变形量达到70%；（4）热处理：将锻压后的铸锭在200～400℃条件下进行退火处理；（5）轧制：将锻压成板材的铝板或纯铝合金板，在室温下进行8～20道次轧制，每道次扎下量不低于25%，X方向与Y方向交替轧制，X方向与Y方向垂直；（6）热处理：将轧制后的铝板在200～400℃条件下进行退火处理，既消除了内应力，并将材料晶粒细化至200μm以下。
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