[发明专利]板状物的加工方法

摘要

本发明提供一种板状物的加工方法。在对板状物进行磨削并对被磨削面进行蚀刻的加工方法中，即使是蚀刻速率有波动的情况下，也能够将板状物精加工得平坦。以规定的蚀刻方法对平坦的板状物（1）进行蚀刻，预先把握蚀刻后的板状物（1）的形状，在磨削步骤中，将板状物磨削成为非平坦形状的磨削完成形状，该磨削完成形状是通过使所述蚀刻后的板状物的形状反转成相反的形状而得到的。当对被磨削面实施了基于随后的规定的蚀刻方法的蚀刻，板状物（1）形成为厚度均匀的平坦形状。

主权项

一种板状物的加工方法，其特征在于，所述板状物的加工方法具备：蚀刻后形状确认步骤，对平坦的第一板状物的被磨削面实施蚀刻并确认该蚀刻后的第一板状物的形状；磨削完成形状计算步骤，使在该蚀刻后形状确认步骤中确认的蚀刻后的第一板状物的形状反转成相反形状而计算出使第二板状物在蚀刻步骤后变得平坦的磨削完成形状；磨削步骤，利用具有磨削磨具的磨削构件对在保持工作台上保持的第二板状物进行磨削，使所述第二板状物变薄至规定的厚度，所述保持工作台具有用于保持第二板状物的保持面，在所述磨削步骤中，将第二板状物磨削成在该磨削完成形状计算步骤中计算出的所述磨削完成形状；和蚀刻步骤，在实施该磨削步骤后，对第二板状物的被磨削面进行蚀刻。