[发明专利]电沉积Cu-W-Co合金镀层的电镀液及其方法有效
申请号: | 201310722627.3 | 申请日: | 2013-12-25 |
公开(公告)号: | CN103643265A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 李远会;郭忠诚;刘烈武 | 申请(专利权)人: | 昆明理工大学 |
主分类号: | C25D3/58 | 分类号: | C25D3/58 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 650093 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明涉及一种电沉积Cu-W-Co合金镀层的电镀液及其方法,属于多元铜合金电镀工艺技术领域。该电镀液包括以下浓度的组分:可溶性铜盐、可溶性钴盐、钨酸钠、络合剂、缓冲剂、光亮剂、润湿剂、添加剂;该电沉积Cu-W-Co合金镀层的方法为:以上述混合试剂为电镀液,阳极为石墨,阴极为处理过的高导电性纯铜或铜合金基体,在pH为4~11、温度为25~80℃、电流密度为1~20A/dm2条件下电镀0.5~3h,即能在阴极上制备得到Cu-W-Co合金镀层。该电镀液无毒、环保、稳定,无贵重金属;该方法工艺流程短,成本低,能耗低,效益高,低温操作方便。 | ||
搜索关键词: | 沉积 cu co 合金 镀层 电镀 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种电沉积Cu‑W‑Co合金镀层的电镀液,其特征在于:该电镀液包括以下浓度的组分:可溶性铜盐5~50g/L、可溶性钴盐60~120g/L、钨酸钠50~150g/L、络合剂100~300g/L、缓冲剂5~40g/L、光亮剂0.2~3g/L、润湿剂0.1~1g/L、添加剂0.1~1g/L,其中络合剂与金属离子的摩尔分数比为1~1.3:1。
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