[发明专利]星用介质材料二次电子发射系数的测试方法和测试系统有效
| 申请号： | 201310722788.2 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103760181A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 陈益峰;李得天;秦晓刚;杨生胜;史亮;王俊;柳青;汤道坦 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种星用介质材料二次电子发射系数的测试方法和测试系统，包括：将至少一个星用介质材料制成的测试样品置于样品台上，使用真空系统将样品台抽真空；开启电子枪，电子枪发射单个脉冲电子束，照射放在样品台上的入射电子测试法拉第筒，通过第一微电流计测得单个脉冲电子束的入射电流强度；旋转样品台，将任一测试样品置于单个脉冲电子束辐照下，利用二次电子收集极第二微电流计测得该测试样品的二次电子发射电流；通过比较入射电流强度和二次电子发射电流，即可获得样品的二次电子发射系数。本发明提供的测试方法和系统，具有获得一次高真空后，可开展多个测试样品的二次电子发射系数测试，提高了测试效率，具有测试精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 材料 二次电子 发射 系数 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种星用介质材料二次电子发射系数的测试系统，其特征在于，包括：样品台，用于放置至少一个星用介质材料制成的测试样品；真空系统，用于将所述样品台抽成真空；电子枪，用于发射高能电子辐照测试样品；入射电子测试法拉第筒，所述入射电子测试法拉第筒放在所述样品台上，置于所述电子枪产生的高能电子辐照下，并且与第一微电流计相连，用于测试电子枪发射的高能电子的入射电子电流强度；二次电子收集极，放置在所述测试样品的上方且与第二微电流计相连，用于测试所述测试样品的二次电子电流强度。
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