[发明专利]多工作模式的气体流量计及气体流量测量方法

摘要

本发明涉及一种多工作模式的气体流量计及气体流量测量方法，包括：串联的第一压力计、参考室、比对室、至少两条并联的分路、校准室，每条分路上都具有容积室，且至少一条分路的容积室连接有小口径连通管；变容室，与比对室连接，具有可以调节容积室容积的活动结构；定容室，连接在比对室和分流线路之间；参考室和比对室之间连接有第三截止阀；差压压力计，连接参考室和比对室。气体流量测量方法，对气体流量计抽真空，向流量计中充入气体，测量充入气体压力；测量并计算气体流量。分流线路包括至少两条并联的分路，各个零件之间设置有截止阀，可以将不同的零件组合，使本发明的气体流量计可采用多种工作模式方式测量气体流量，扩大量程范围。

主权项

一种多工作模式的气体流量计，其特征在于，包括：依次串联的第一压力计、参考室、比对室以及分流线路、校准室；所述分流线路至少包括两条并联的分路：第一分路和第二分路，每条分路上都具有容积室和连通或断开该分路的阀门，第二分路的容积室后连接有一段小口径连通管，所述小口径连通管的口径小于其所在分路上其它位置处的连接管的口径；所述气体流量计还包括：变容室，通过具有第一截止阀的管路与所述比对室连接，所述变容室容积可变，并且具有可以调节容积室容积的活动结构；定容室，通过具有第二截止阀的管路连接在所述比对室和分流线路之间；参考室和比对室之间连接有第三截止阀；差压压力计，连接所述参考室和所述比对室。