[发明专利]减小器壁出气误差的工作用容积测量装置及方法有效
| 申请号： | 201310724789.0 | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103808383B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 习振华;成永军;张伟文;孙雯君;马奔;魏万印;盛学民 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01F17/00 | 分类号： | G01F17/00;G01F25/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 | 代理人： | 孟阿妮 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减小器壁出气误差的工作用容积测量装置及方法，其中，装置包括工作用容积体和参考容积体，所述工作用容积体和所述参考容积体通过第一阀门连接，所述参考容积体通过第二阀门连接有第一非蒸散型吸气剂泵，所述参考容积体通过第三阀门连接有抽气系统，所述工作用容积体通过第四阀门连接有第二非蒸散型吸气剂泵，所述工作用容积体连接有真空计。上述方案，通过第一非蒸散型吸气剂泵、第二非蒸散型吸气剂泵相应的选择性抽除工作用容积体及参考容积体壁面脱附的活性气体，维持了工作用容积体及参考容积体内静态压力，进而提高了工作用容积体的容积测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 出气 误差 工作 容积 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种减小器壁出气误差的工作用容积测量装置，其特征在于，包括工作用容积体和参考容积体，所述工作用容积体和所述参考容积体通过第一阀门连接，所述参考容积体通过第二阀门连接有第一非蒸散型吸气剂泵，所述参考容积体通过第三阀门连接有抽气系统，所述工作用容积体通过第四阀门连接有第二非蒸散型吸气剂泵，所述工作用容积体连接有真空计。
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