[发明专利]二氧化碳气体传感器及其制备方法无效
申请号: | 201310728757.8 | 申请日: | 2013-12-25 |
公开(公告)号: | CN103645216A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 谢光忠;周泳;黄俊龙;解涛;杜晓松;太惠玲;蒋亚东 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 李顺德;王睿 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种气敏响应较快的二氧化碳气体传感器及其制备方法。该二氧化碳气体传感器,包括衬底,所述衬底的上表面设置有叉指电极,所述叉指电极表面沉积有颗粒状支撑体形成的非连续薄膜,所述非连续薄膜表面沉积有氧化石墨烯构成的二氧化碳敏感薄膜,所述二氧化碳敏感薄膜通过颗粒支撑体之间的间隙与叉指电极接触。利用颗粒状支撑体将二氧化碳敏感薄膜撑起,使得二氧化碳气体分子能够在三维方向上和氧化石墨烯材料接触,有效地提高了二氧化碳气体传感器对二氧化碳气体分子的响应,气敏响应较快,而且有利于二氧化碳气体的解吸附,同时改善了二氧化碳气体传感器的性能受限于敏感薄膜厚度的情况。适合在传感器技术领域推广应用。 | ||
搜索关键词: | 二氧化碳 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
二氧化碳气体传感器,包括衬底(1),所述衬底(1)的上表面设置有叉指电极(2),其特征在于:所述叉指电极(2)表面沉积有颗粒状支撑体形成的非连续薄膜(4),所述非连续薄膜(4)表面沉积有氧化石墨烯构成的二氧化碳敏感薄膜(3),所述二氧化碳敏感薄膜(3)通过颗粒支撑体之间的间隙与叉指电极(2)接触。
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