[发明专利]二氧化碳气体传感器及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201310728757.8 申请日: 2013-12-25
公开(公告)号: CN103645216A 公开(公告)日: 2014-03-19
发明(设计)人: 谢光忠;周泳;黄俊龙;解涛;杜晓松;太惠玲;蒋亚东 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01N27/04 分类号: G01N27/04
代理公司: 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 代理人: 李顺德;王睿
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种气敏响应较快的二氧化碳气体传感器及其制备方法。该二氧化碳气体传感器,包括衬底,所述衬底的上表面设置有叉指电极,所述叉指电极表面沉积有颗粒状支撑体形成的非连续薄膜,所述非连续薄膜表面沉积有氧化石墨烯构成的二氧化碳敏感薄膜,所述二氧化碳敏感薄膜通过颗粒支撑体之间的间隙与叉指电极接触。利用颗粒状支撑体将二氧化碳敏感薄膜撑起,使得二氧化碳气体分子能够在三维方向上和氧化石墨烯材料接触,有效地提高了二氧化碳气体传感器对二氧化碳气体分子的响应,气敏响应较快,而且有利于二氧化碳气体的解吸附,同时改善了二氧化碳气体传感器的性能受限于敏感薄膜厚度的情况。适合在传感器技术领域推广应用。
搜索关键词: 二氧化碳 气体 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
二氧化碳气体传感器,包括衬底(1),所述衬底(1)的上表面设置有叉指电极(2),其特征在于:所述叉指电极(2)表面沉积有颗粒状支撑体形成的非连续薄膜(4),所述非连续薄膜(4)表面沉积有氧化石墨烯构成的二氧化碳敏感薄膜(3),所述二氧化碳敏感薄膜(3)通过颗粒支撑体之间的间隙与叉指电极(2)接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学,未经电子科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310728757.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top