[发明专利]纳米多层复合膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310728915.X | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103668062A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 吴日芳;江延军;王峰;高鹏万 | 申请（专利权）人： | 大连远东工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 贾汉生;李馨 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米多层复合膜及其制备方法。本发明纳米多层复合膜包括顺次设置的Ti层、复合层和TiN表层，所述复合层包括交替设置Ti2N+TiN层和TiN层。本发明还公开了纳米多层复合膜的制备方法包括以下步骤：首先在基体表面沉积Ti层；然后在Ti层背离基体的一侧沉积复合层；最后在复合层上沉积TiN表层；其中，所述复合层通过交替沉积Ti2N+TiN层和TiN层制备而成。本发明纳米多层复合膜兼具硬度高和制造成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 多层 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米多层复合膜，其特征在于，包括顺次设置的Ti层、复合层和TiN表层，所述复合层包括交替设置Ti2N+TiN层和TiN层。
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