[发明专利]85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法有效
| 申请号： | 201310731033.9 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103710745A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李辉;王辉辉;姜宏伟;毛洪英 | 申请（专利权）人： | 南京晶升能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 胡建华 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法，包括蓝宝石晶体引晶步骤，在单晶炉内设置用于测量晶体重量的电子称重器，电子称重器将重量信号发送到PLC控制系统，蓝宝石晶体引晶完毕后，PLC根据晶体重量判断晶体生长过程中所处阶段，调出对应阶段的工艺参数包，通过PID调节；当电子称重器测量晶体净重超过3kg～5kg后，PLC调整温度降幅，控制蓝宝石晶体等径生长；当电子称重器测量测量晶体重量超过45kg～70kg后，PLC调整温度降幅控制蓝宝石晶体生长收尾；当PLC计算加热器功率降幅超过15%～20%后，自动转入到冷却充气阶段，完成脱锅，结束生长。 | ||
| 搜索关键词： | 85 kg 120 蓝宝石 晶体生长 自动化 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法，包括，蓝宝石晶体引晶步骤，其特征在于，在单晶炉内设置用于测量晶体重量的电子称重器，电子称重器将重量信号发送到PLC控制系统，蓝宝石晶体引晶完毕后，PLC根据晶体重量判断晶体生长过程中所处阶段，调出对应阶段的工艺参数包，通过PID调节，将实际计算的生长速率与参数包中的数据进行匹配，并调整温度变化； 当电子称重器测量晶体净重超过3kg～5kg后，PLC调整温度降幅，控制蓝宝石晶体等径生长； 当电子称重器测量测量晶体重量超过45kg～70kg后，PLC调整温度降幅控制蓝宝石晶体生长收尾； 当PLC计算单晶炉加热器功率降幅超过15%～20%后，自动转入到冷却充气阶段，完成脱锅，结束蓝宝石晶体生长。
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