[发明专利]感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件有效
申请号: | 201310731751.6 | 申请日: | 2013-12-18 |
公开(公告)号: | CN103885294B | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 吴明儒;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G02B1/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 马雯雯,臧建明 |
地址: | 中国台湾台南市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种感光性聚硅氧烷组成物,包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、每分子具有至少含有六个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C),及溶剂(D);由该感光性聚硅氧烷组成物所形成的保护膜具有良好的感度。 | ||
搜索关键词: | 感光性 聚硅氧烷 组成 保护膜 具有 元件 | ||
【主权项】:
一种感光性聚硅氧烷组成物,其特征在于,所述感光性聚硅氧烷组成物包含:聚硅氧烷高分子(A);邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);每分子具有含有六个至十五个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C);及溶剂(D),其中基于所述聚硅氧烷高分子(A)的总量为100重量份,所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的含量为1至50重量份、所述每分子具有含有六个至十五个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含量为0.1至35重量份,及所述溶剂(D)的含量为50至1200重量份。
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