[发明专利]感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件有效

专利信息
申请号: 201310731751.6 申请日: 2013-12-18
公开(公告)号: CN103885294B 公开(公告)日: 2017-07-14
发明(设计)人: 吴明儒;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/075 分类号: G03F7/075;G02B1/04
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 代理人: 马雯雯,臧建明
地址: 中国台湾台南市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明涉及感光性聚硅氧烷组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种感光性聚硅氧烷组成物,包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、每分子具有至少含有六个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C),及溶剂(D);由该感光性聚硅氧烷组成物所形成的保护膜具有良好的感度。
搜索关键词: 感光性 聚硅氧烷 组成 保护膜 具有 元件
【主权项】:
一种感光性聚硅氧烷组成物,其特征在于,所述感光性聚硅氧烷组成物包含:聚硅氧烷高分子(A);邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);每分子具有含有六个至十五个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C);及溶剂(D),其中基于所述聚硅氧烷高分子(A)的总量为100重量份,所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的含量为1至50重量份、所述每分子具有含有六个至十五个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物(C)的含量为0.1至35重量份,及所述溶剂(D)的含量为50至1200重量份。
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