[发明专利]焦点监测装置和方法有效
| 申请号： | 201310734854.8 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104748674B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐建旭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种焦点监测装置和方法，该装置包括底座、棱镜、挡光板和光电探测器，入射光入射至棱镜后被反射到挡光板上，所述挡光板上具有狭缝，使得光束到棱镜底面的距离与反射到挡光板的距离相等，所述光电探测器接收从挡光板出射的光。 | ||
| 搜索关键词： | 挡光板 棱镜 光电探测器 监测装置 反射 距离相等 入射光 焦点 出射 底座 入射 狭缝 | ||
【主权项】：
1.一种焦点监测装置，其特征在于，包括可被固定于工件台上的底座、棱镜、挡光板、光电探测器，所述棱镜为一等腰直角体，所述棱镜包括一斜面，所述斜面具有反射膜，所述挡光板紧贴所述棱镜垂直设置，入射光入射至棱镜后被反射到挡光板上，所述挡光板上具有孔或狭缝，使光束到棱镜底面的距离与反射到挡光板的距离相等，所述光电探测器接收从挡光板出射的光。
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