[发明专利]产品混合处理系统及方法有效
| 申请号： | 201310739262.5 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104751258B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张哲;徐梅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种产品混合处理系统及方法，所述产品混合处理系统包括：恢复系统，用于设置所述多个晶圆的至少一种处理方案；集成系统及客户端，所述集成系统连通恢复系统与客户端。所述产品混合处理方法，包括：在恢复系统中设置所述多个晶圆的至少一种处理方案；由集成系统从客户端获取所述晶圆的信息，对所述处理方案进行核实，待所述处理方案正确时，由集成系统将所述处理方案传递至客户端以执行。从而能够同时对需要进行不同操作的一批晶圆中相应晶圆进行不同的操作，避免了人工操作带来的潜在威胁，提高了自动化程度，此外，还能够保证晶圆不会被重复处理或漏处理这种情况发生，提高了生产效率，并保证了质量。 | ||
| 搜索关键词： | 产品 混合 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种产品混合处理系统，用于对同一批产品的多个晶圆进行恢复处理，包括：恢复系统，用于设置所述多个晶圆的至少一种处理方案，以对同一批晶圆中需要进行不同操作的多个晶圆分别执行不同的操作；集成系统及客户端，所述集成系统连通恢复系统与客户端。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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