[发明专利]等离子体处理容器和等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理容器和等离子体处理装置。在以电感耦合等离子体处理装置为首的等离子体处理装置中，抑制因热导致的盖部件的变形。在电感耦合等离子体处理装置（1）的主体容器（2A）和上部容器（2B）的连接部分，遍及全周配置有O形圈（51）、隔热部件（52）和缠绕屏蔽部件（53）。隔热部件（52）嵌入于隔热部件用槽（62）内。隔热部件（52）包括长条形的多个隔热板（54）。利用隔热部件（52）在主体容器（2A）和上部容器（2B）之间设置间隙（CL）。利用隔热部件（52）使主体容器2A和上部容器（2B）热分离，即使在上部容器（2B）因热而发生了变形的情况下，也能够吸收其变形量。

主权项

一种FPD用基板用的等离子体处理容器，其形成对被处理体进行等离子体处理的处理室，所述等离子体处理容器的特征在于，包括：主体容器；和组合于所述主体容器的上部容器，在所述主体容器和所述上部容器之间设置有真空密封部件、隔热部件和电磁波屏蔽部件，所述主体容器和所述上部容器之间存在间隔，所述隔热部件由在所述主体容器的上端面遍及整周地形成的隔热部件用槽内相邻排列的多个隔热板构成，相邻的所述隔热板的间隔在1mm以上3mm以下的范围内。