[发明专利]柔性CIGS太阳能电池的制备装置在审
| 申请号： | 201310740638.4 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103710670A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 陈进中;莫经耀;吴伯增;林东东;甘振英 | 申请（专利权）人： | 柳州百韧特先进材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 545006 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉柔性CIGS太阳能电池的制备，具体说是柔性CIGS太阳能电池的制备装置，其包括真空室，真空室内设置有工作台，工作台外侧设置有将柔性CIGS太阳能电池基板输送至该工作台的推进收纳机构，工作台上安装有加热器，在工作台上侧设置有溅射源和与溅射源对应的两靶材，溅射源通过分别轰击两靶材使工作台的基板上沉积形成吸收层和缓冲层。本发明采用向由上向下的溅射法沉积吸收层与缓冲层，避免了因重力的影响使得沉积不够均匀的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 cigs 太阳能电池 制备 装置 | ||
【主权项】：
柔性CIGS太阳能电池的制备装置，包括真空室，其特征在于：真空室内设置有工作台，工作台外侧设置有将柔性CIGS太阳能电池基板输送至该工作台的推进收纳机构，工作台上安装有加热器，在工作台上侧设置有溅射源和与溅射源对应的两靶材，溅射源通过分别轰击两靶材使工作台的基板上沉积形成吸收层和缓冲层。
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