[发明专利]具有改进的噪声性能的X射线探测器

摘要

本发明公开一种具有改进的噪声性能的X射线探测器。在示例性实施例中，用于成像装置的探测器包括：形成光传感器的一部分的连续的无图案光电材料和相对于光电材料设置以形成光传感器的阳极或阴极的电极。连接到探测器的晶体管的输出的数据读出线可能容易受到来自光传感器的电极之间的电容耦连的电噪声的影响。在本申请的示例性实施例中，在电极和数据读出线之间可以形成横向偏移和／或垂直偏移，以控制电极和数据读出线之间的电容耦连。

主权项

一种制造成像探测器的方法，所述方法包括：在衬底上沉积多个晶体管；在关于所述衬底的第一平面形成数据读出线，所述数据读出线具有长度和宽度，并与所述多个晶体管中的至少两个晶体管电通信；在所述数据读出线上沉积连续的无图案光电材料，所述连续的无图案光电材料与所述多个晶体管中的所述至少两个晶体管电通信；在所述光电材料上沉积电极，所述电极被沉积在第二平面中；以及其中，所述电极与所述数据读出线侧向偏移。