[发明专利]一种铜合金靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201310741633.3 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN104746020A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 曾浩;李勇军;何金江;熊晓东;刘书芹;刘红宾;高岩;王欣平 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/08 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于溅射靶材制造技术领域的一种铜合金靶材的加工方法。该方法主要包括：加热炉将高纯铜合金铸锭均匀加热到350-600℃，保温1-3小时。采用锻造设备对铸锭分别沿X/Y/Z三方向进行热锻。锻后坯料在二辊轧机上进行多道次往复冷轧，道次变形量为8%～20%，总变形量为70%～90%。轧后坯料在热处理炉250～450℃范围，保温2～4小时，得到满足要求的高纯铜合金溅射靶坯。通过这种方法得到的铜合金靶材平均晶粒尺寸在30μm以下，织构取向随机分布，能够满足集成电路45nm及以下工艺制程的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜合金 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种铜合金靶材的加工方法，其特征在于：包含步骤如下：1）加热炉将高纯铜合金铸锭均匀加热到350～600℃，保温1～3小时；2）对铸锭分别沿X/Y/Z三方向进行热锻；X、Y为径向且互相垂直，Z为轴向；3）热锻后坯料在二辊轧机上进行多道次往复冷轧，道次变形量为8%～20%，总变形量为70%～90%；4）轧后坯料在热处理炉250～450℃范围，保温2～4小时，得到高纯铜合金溅射靶坯。
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