[发明专利]激光扫描热波成像膜厚测量方法

摘要

本发明涉及一种激光扫描热波成像膜层厚度测量方法，采用高功率线状激光束对试件表面进行快速扫描，试件表面在扫描方向上的不同位置具有不同的热激励时间，采用热像仪将这些不同位置的热波信号同时记录下来，可以得到试件的热波信号随时间变化的曲线，再将得到的曲线与理论模型进行拟合，从而得到被测试件的厚度。本发明通过上述技术方案，采用激光扫描方式进行高帧频采集，实现对较薄膜层的厚度测量。

主权项

一种激光扫描热波成像膜厚测量方法，其特征在于包括如下步骤：根据被测试件膜层的特性，选择激光器（27）的功率和光束偏转装置（22）的扫描速度；激光束（23）经光束偏转装置（22）对被测试件（25）表面进行快速扫描，同时采用红外热像仪（26）采集所述被测试件（25）膜层的热波图像；在所述热波图像中沿着扫描方向选取多个像素值，将所述像素值顺序排列，得到所述被测试件（25）膜层的热波信号变化曲线；将所述热波信号变化曲线与所述膜层相对应的理论模型进行拟合，得出所述被测试件（25）的膜层厚度。