[发明专利]一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法

摘要

本发明公开了一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。采用Z字形依次扫描小图像块。每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的设定重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置坐标为设定扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和。本发明的方法可以有效估计并补偿在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜扫描高精度大图耗时较长所引起的图像内漂移严重的问题。

主权项

一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。每行中相邻图像重叠部分为竖长条形长方形，每列中相邻图像重叠部分为横长条形长方形。步骤2，采用Z字形依次扫描小图像块。即第一行从左到右依次扫描，第二行从右到左依次扫描，第三行从左到右依次扫描，以此类推。步骤3，每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。步骤4，将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置图像的起始坐标为设定的扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和；在放置时，遇到重叠部分，用后一幅图像覆盖前一幅的重叠部分。