[发明专利]基板沉积装置的控制装置及其控制方法

摘要

本发明提供一种用于基板沉积装置的控制装置，以便根据由基板温度传感器感测到的温度，实现对基板的总体表面状态以及基座的总体驱动状态的测量和测定。用于基板沉积装置的控制装置包括：温度传感器，用于感测放置在腔室内的基板的温度，以及支撑基板的基座的温度；波形提取器，用于将由温度传感器感测到的温度提取为随时间变化的温度波形；区域分离器，用于根据温度波形，将基座的温度所对应的基座区域与基板的温度所对应的基板区域分开；以及测定器，用于根据基板区域的温度波形以及基座区域的温度波形，测定基板的表面状态以及基座的驱动状态。因此，用于基板沉积装置的控制装置可以削减基板沉积装置的制造成本，并简化其构造。

主权项

一种用于基板沉积装置的控制装置，所述控制装置包括：温度传感器，用于感测放置在腔室内的基板的温度；波形提取器，用于将由所述温度传感器感测到的基板温度提取为随时间变化的温度波形；以及测定器，用于根据所述基板的所述温度波形，测定所述基板是否发生弯曲以及所述基板的表面状态和斜度。