[发明专利]一种硅片切割液有效
| 申请号： | 201310745126.7 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103695149A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片切割液，其组成成分按重量分数计为：二乙二醇65-85份，聚乙二醇70-85份，分散剂8-22份，表面活性剂1-12份，消泡剂1-3份，鳌合剂1-8份，去离子水65-120份，将以上各组分加入搅拌装置中，在35—55℃的条件下搅拌30分钟即可，可提高碳化硅的稳定性，具有很强的再分散能力，可提高切割良品率，大大降低了切割成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 | ||
【主权项】：
种硅片切割液，其特征为，按重量分数计为：二乙二醇 65‑85份聚乙二醇 70‑85份分散剂 8‑22份表面活性剂 1‑12份消泡剂 1‑3份鳌合剂 1‑8份去离子水 65‑120份。
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