[发明专利]基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置

摘要

基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光，两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上，并关于入射面的中心点对称，并采用直角棱镜作为参考棱镜和测量棱镜；该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量；本发明方法及装置消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍。

主权项

一种基于直角棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法，该方法是：(1)频率分别为f₁、f₂且空间分离的两束平行光束入射到非偏振分光棱镜；其特征在于：(2)所述两束平行光入射到非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角位置；(3)频率为f₁的光束被非偏振分光棱镜分为参考光束和测量光束两部分，同时频率为f₂的光束也被非偏振分光棱镜分为参考光束和测量光束两部分；(4)频率分别为f₁、f₂的两束参考光束入射到参考直角棱镜，并被反射回非偏振分光棱镜；同时频率分别为f₁、f₂的两束测量光束入射到目标端直角棱镜，并被反射回非偏振分光棱镜；(5)调节参考直角棱镜和目标端直角棱镜，使频率为f₁的参考光束与频率为f₂的测量光束重合并产生干涉信号I_m1；使频率为f₂的参考光束与频率为f₁的测量光束重合并产生干涉信号I_m2；根据两干涉信号I_m1、I_m2计算出目标端直角棱镜的位移量。