[发明专利]一种激光刻蚀制绒工艺

摘要

本发明涉及晶硅太阳能电池的制绒领域，特别涉及一种激光刻蚀制绒工艺。一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源与铅垂线成固定夹角a，激光源围绕激光镭射机中间的支柱自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。本发明的有益效果是：该发明激光刻蚀制绒工艺，可以刻蚀出蜂窝状的圆锥体凹坑，该种类型的刻蚀图形可反射率降至6%左右。

主权项

一种激光刻蚀制绒工艺，采用激光镭射机，具体的工艺过程为：（1）在激光镭射机的控制电脑上输入形状为圆锥体的刻蚀图形；（2）设定激光源(1)与铅垂线(3)成固定夹角a，激光源(1)围绕激光镭射机中间的支柱(2)自转刻蚀出圆锥形凹坑；（3）激光在整个硅片表面记性刻蚀，最终形成蜂窝状的圆锥体凹坑。