[发明专利]一种层状电磁薄膜材料鼓包样品的制备方法有效
| 申请号： | 201310749786.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103762307A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 毛卫国;肖敏;戴翠英;丁佳;谢敏;周望;邓水凤;裴永茂;方岱宁 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 肖文超 |
| 地址： | 411105*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制备层状电磁薄膜材料鼓包样品的填充材料及其制备方法，以及采用上述填充材料制备层状电磁薄膜材料鼓包样品的方法。该方法首先采精密微机械加工法，在二氧化硅基底上加工出一个通孔。再用特制的混合材料填充通孔，并进行金相抛光处理。然后利用离子溅射方法在基底表面镀上一个环形底电极，再使用溶胶凝胶法依次沉积铁电薄膜和铁磁薄膜，进行退火处理，清洗干燥后在薄膜表面沉积一个环形顶电极。然后用丙酮分析纯和氢氧化钠溶液腐蚀，去除通孔中的填充材料，形成一个独立支撑的薄膜窗口，得到适宜于鼓包测试的电磁性薄膜鼓包样品。此方法操作简便，制备效率高，为鼓包测试提供了一种合适的电磁功能薄膜材料鼓包样品制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 层状 电磁 薄膜 材料 鼓包 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在制备层状电磁薄膜材料鼓包样品时填充在基底通孔内的填充物，其特征在于：其为耐高温有机硅胶、硅酸钠、碳化硅粉末、二氧化硅粉末、氧化铝粉末、铝粉和氧化镁粉末的混合物。
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