[发明专利]PVD设备冷泵再生控制方法及装置有效
| 申请号： | 201310751078.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104747422A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 杨洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B37/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种PVD设备冷泵再生控制方法及装置，其中方法包括如下步骤：接收冷泵申请系统干泵的使用权的请求；在检测到所述冷泵可使用系统干泵后，关闭PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀，控制所述冷泵开始再生；监测所述冷泵的再生状态；当所述冷泵的再生状态进入降温步骤时，释放所述系统干泵的使用权，并在等待再生完成后结束再生操作，打开PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀。本发明的PVD设备冷泵再生控制方法及装置改变了冷泵释放系统干泵的时间，将冷泵完成全部再生过程后再释放系统干泵改为冷泵开始降温时即释放干泵，这样提高了冷泵再生过程中系统干泵的调度效率，缩短多冷泵同时再生的时间，进而大幅度节省PVD设备的维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 设备 再生 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：包括如下步骤：S100：接收冷泵申请系统干泵的使用权的请求；S200：在检测到所述冷泵可使用所述系统干泵后，关闭PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀，控制所述冷泵开始再生；S300：监测所述冷泵的再生状态；S400：当所述冷泵的再生状态进入降温步骤时，释放所述系统干泵的使用权，并在等待再生完成后结束再生操作，打开PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310751078.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：轴向多级流体机构及包括其的装置
- 下一篇：一种摇杆轴内嵌型脚踏式油泵
