[发明专利]一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法无效
| 申请号： | 201310751893.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104743502A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 朱君;张心强;李洋;徐瑶华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘茵 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法，该方法包括：将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂、稀土氧化物三种组分混合均匀；使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。该组件可以在维持密封腔室真空度的同时，方便地在MEMS器件的多个内部部件上进行制备，结构简单。此组件在真空封装后，通过吸收内部腔室内的水汽及残余气体，可以提高MEMS器件的使用可靠性及寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 复合 吸气 mems 组件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有复合吸气剂层的MEMS组件的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：A.将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂和稀土氧化物三种组分混合均匀；三种组分的配比为40～60wt％：30～55wt％：5～10wt％：B.使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；C.将步骤B制备的MEMS器件在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。
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