[发明专利]一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置

摘要

本发明涉及一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，包括等功率狭缝板、反应腔、多路微波源和多路微波传输系统，所述反应腔的顶部设有石英玻璃板，所述石英玻璃板位于所述等功率狭缝板下方，多路微波源和多路微波传输系统并排设置在所述等功率狭缝板上方，所述反应腔内部设有电池片传动系统，所述微波源产生的微波通过微波传输系统后在等功率狭缝板下方的石英玻璃板下表面激发表面波等离子体，所述反应腔上设有抽真空接口和通工作气体接口。本发明装置适合大面积制备电池片，能够与其他反应腔室形成生产线，将极大地提高大面积电池片的生产效率。

主权项

一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，包括等功率狭缝板、反应腔、多路微波源和多路微波传输系统，所述反应腔的顶部设有石英玻璃板，所述石英玻璃板位于所述等功率狭缝板下方，多路微波源和多路微波传输系统并排设置在所述等功率狭缝板上方，所述反应腔内部设有电池片传动系统，所述微波源产生的微波通过微波传输系统后在等功率狭缝板下方的石英玻璃板下表面激发表面波等离子体，所述反应腔上设有抽真空接口和通工作气体接口。