[发明专利]一种射频滤波器及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种射频滤波器及半导体加工设备，射频滤波器用于对与静电卡盘相连接的射频功率源向与静电卡盘相连接的直流电源回流的射频信号进行滤波，包括电感元件和电容元件，电感元件为磁芯电感。本发明提供的射频滤波器，其可以在对低频的射频信号滤波同时可以对高频的射频信号滤波，从而可以同时对两路或者多路频率相差很大的射频信号滤波，进而可以提高射频滤波器的适用性。

主权项

1.一种射频滤波器，用于对与静电卡盘相连接的射频功率源向与静电卡盘相连接的直流电源回流的射频信号进行滤波，包括电感元件和电容元件，其特征在于，所述电感元件为磁芯电感，所述电感元件的数量为多个，多个所述电感元件依次串联在滤波电路的第一端和第二端之间，并且，在所述滤波电路的第一端和所述电感元件之间、在两个相邻的所述电感元件之间均具有所述电感元件的输入端，在每个所述输入端与地之间串接所述电容元件，用以能够同时对不同频率的信号进行滤波；其中，当所述射频功率源输出单一低频的射频信号时，或者，当所述射频功率源输出两路或者多路频率相差不大的低频信号时，所述电感元件为低频磁芯电感；当所述射频功率源输出单一高频的射频信号时，或者，当所述射频功率源输出两路或者多路频率相差不大的高频信号时，所述电感元件为高频磁芯电感；当所述射频功率源输出两路或者多路频率相差较大的射频信号时，所述电感元件为高频磁芯电感。