[发明专利]或逻辑和与非逻辑器件的结构及制作方法在审
申请号: | 201310752395.6 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN104752418A | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 吴兵;王永成;戴有江 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/088;H01L29/423;H01L21/8234;H01L21/28;H03K19/173 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种或和与非逻辑器件的结构,或逻辑器件制作在接地的p阱或p型衬底中,上面有两个并联并紧邻的门控栅,各自控制其下两个相邻并并联的n型导电沟道;在沿着两个门控栅交界线的方向上,在门控栅两端有高掺杂n型源区和漏区,作为两个沟道的引出端;门控栅上各有一个多晶硅栅极,两个多晶硅栅极相互电学隔离并独立引出,作为或逻辑的两个输入端。与非逻辑器件和或逻辑器件结构类似,不同的是制作在n阱或n型衬底中,源漏区为高掺杂p型。本发明还公开了上述结构的或和与非逻辑器件的制作方法。本发明通过设计新型的或和与非逻辑器件结构,不仅简化了器件和电路结构,减小了电路面积和制造成本,而且使电路的时序控制更为简单。 | ||
搜索关键词: | 逻辑 器件 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
或逻辑器件的结构,其特征在于,制作在p阱或p型衬底中,p阱或p型衬底接地,上面有两个并联并紧邻的门控栅,各自控制其下两个相邻并并联的n型导电沟道;在沿着两个门控栅交界线的方向上,在门控栅的两端有高掺杂n型源区和漏区,作为两个n型导电沟道的引出端;门控栅上各有一个多晶硅栅极,两个多晶硅栅极相互电学隔离并独立引出,作为或逻辑的两个输入端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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