[发明专利]具光学匹配层结构的触控面板及该光学匹配层的成形方法在审
| 申请号： | 201310752402.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104750293A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 郭崇伦;林汉伦;魏沧亮 | 申请（专利权）人： | 胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;C03C17/34 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具光学匹配层结构的触控面板及该光学匹配层的成形方法，其中该光学匹配层结构主要是由一氮化硅(SiNx)层及一硅氧化物(SiOx)层所组成，因此，该光学匹配层在成形时所使用的镀膜机台，其在镀膜腔体内仅需架设单一种硅(Si)靶材(当然也是架设硅-铝(Si-Al)靶材、或硅-硼(Si-B)靶材)，并通入特定气体后即可反应成形该硅氧化物(SiOx)层或氮化硅(SiNx)层，是以，该光学匹配层的制程上，所架设的该硅(Si)靶材皆可被利用到，而不需更换把材，藉以提升镀膜机台利用率、产能极大化及靶材配置最少化，最终达到提升该光学匹配层制程产能的目的，更同时达到降低该光学匹配层的材料成本及原物料管控成本、以及提升该光学匹配层的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 匹配 结构 面板 成形 方法 | ||
【主权项】：
一种具光学匹配层结构的触控面板，其特征在于：包含：一基板；一图案化电极，设置于该基板上；以及一光学匹配层结构，设置于该基板与该图案化电极之间，其中该光学匹配层包含：一第一薄膜层，成形在该基板，并具有一成形在该基板表面的第一表面、及一反向于该第一表面的第二表面；一第二薄膜层，成形在该第一薄膜层，并具有一成形在该第二表面的第三表面、及一反向于该第三表面且供该图案化电极成形的第四表面。
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