[发明专利]一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统

摘要

本发明提供一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，包括：化学反应子系统；进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；气体采集子系统，与所述的化学反应子系统相连接；控制子系统，分别与所述的气体质量流量计、抽真空子系统、气体采集子系统以及化学反应子系统相连接，用于采集所述气体质量流量计的流量，采集所述化学反应子系统的压力值、温度值、气体浓度，根据所述的流量、压力值、温度值以及气体浓度进行控制。实现了对化学气相沉积薄膜过程的实时监控，对工艺参数进行严格控制，并对数据进行存储和显示，提高可靠性和抗干扰性。

主权项

一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，其特征是，所述的系统具体包括：化学反应子系统；进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；气体采集子系统，与所述的化学反应子系统相连接；控制子系统，分别与所述的进气子系统、抽真空子系统、气体采集子系统以及化学反应子系统相连接，用于采集所述气体质量流量计的流量，采集所述化学反应子系统的压力值、温度值、气体浓度，根据所述的流量、压力值、温度值以及气体浓度进行PID控制。